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Analyse von Radiusmessdaten

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Analyse von Radiusmessdaten

Analyse von Radiusmessdaten
Eines der Hauptmerkmale der Softwareversion 5.3 der Mess- und Analysesoftware µShape ist die Kompatibilität zu den µPhase-2-Systemkonfigurationen, dem FS 10 und dem FS 50 von Fisba Optik. Die Prismen- und Multiple Aperture Add-on-Module wurden überarbeitet. Die Stative der Systemkonfigurationen, ab Dezember 2006 erhältlich, sind mit einer integrierten Leseeinheit für das Ermitteln von Radiusmessdaten ausgestattet. Die gewonnenen Daten werden direkt von der Leseeinheit an die Software übermittelt, was eine schnellere und zuverlässigere Analyse der Messdaten geben wird. Das Prismen-Add-on-Modul kann jetzt in Kombination mit dem Multiple Aperture Modul einzelne Prismenoberflächen einer verbundenen Prismenanordnung auf einer Polierscheibe genau evaluieren. Das Multiple Aperture Modul, ergänzt in Version 5.3, wird dabei automatisch gestartet wenn eine Prismenanalyse durchgeführt wird. Implementiert wurde ein neuer Verbindungsalgorythmus für zuverlässigere Resultate beim Messen von Probenanordnungen von Linsen oder Prismen auf Polierköpfen oder -scheiben. MTF-Kalkulationen für Off-axis-Proben sind jetzt möglich, weiter wurde der Justierwerkzeugleiste eine Umschaltfunktion hinzugefügt, die den Wechsel zum Justierausgleich vereinfacht.

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