Feinfocus hat sein Röntgeninspektions-Gerät FXS-160.25NT mit einer Nanofokus-Röntgenröhre ausgestattet, die für eine bis zu 2400-fache geometrische und eine bis zu 7200-fache totale Vergrößerung ausgelegt ist. Das AXI-System des Typs Fox (Feinfocus-Omnipotent-X-Ray) ist eine Weiterentwicklung der Serie 20 und inspiziert Bauelemente in den Bauformen BGA, eBGA, CSP, Flip-Chip, COB (Chip-on-Board) und Bond-Wires. Eine fünfachsige CNC-Konstruktion und ein verbesserter Präzisionsma-nipulator ermöglichen Verfahrgeschwindigkeiten zwischen 50 em/s und 80 mm/s. Eine Achse gestattet das Kippen des zu untersuchenden Objekts um w45°, eine Achse kann es um über 360° drehen. Die maximalen Abmessungen der zu tes-tenden Baugruppen betragen 300 x 400 mm², die Durchlichtfläche ist ebenso groß. Die auf Windows-NT basierende Software FIP-600NT sorgt in Echtzeit mit zahlreichen optionalen Operatoren zum Einblenden von Filtern, Anheben des Kontrasts und weiteren Parametern für optimale Bildergebnisse mit einer Detailerkennbarkeit von bis zu 500 nm und einer Bildauflösung von bis zu 900 nm.
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