Phoenix-Xray stellte sein 160-kV-nanofocus-Computertomografiesystem nanotom vor, das speziell auf Applikationen in der Elektronik- und Halbleiterindustrie, in der Sensorik und den Materialwissenschaften zugeschnitten ist. Beispielsweise kann die innere Struktur komplexer elektronischer Bauelemente mit höchster Auflösung analysiert werden. Der gesamte Aufbau des Systems wurde speziell für die Bedürfnisse der höchstauflösenden Computertomografie ausgelegt. Das kompakte System verfügt über einen granitgelagerten CT-Aufbau mit einer 160-kV-high-power-nanofocus-Röntgenröhre und einen speziellen Detektor, so dass eine Voxelauflösung von <500 nm (0,5 µm) erreicht werden kann. Der eingesetzte volldigitale Detektor verfügt über 5 Megapixel und eine Messbereichserweiterung für höchstmögliche Bildauflösung und Vergrößerung. Es können Proben bis zu 120 mm Durchmesser und einem Gewicht bis zu 1 kg untersucht werden. Die Türkonstruktion sowie ein justierbarer Probenhalter erlauben eine leichte und genaue Positionierung der Probe. Die CT-Software datos-x ermöglicht dem Anwender eine einfache Bedienung und erfordert nur minimales Training. Aufgrund der Leistungsfähigkeit der Software erfolgt die Bildaufnahme und Volumenrekonstruktion in hoher Schnelligkeit und Qualität. Ein optional erhältlicher PC-Cluster bringt zusätzliche Zeitersparnis durch Erhöhung der Rechenleistung.
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