Synatron bietet das Scanning-Optical-Microscope-System SOM 1005 von Semicaps an. Das System wurde für maximale Sensitivität und Auflösung durch laserinduzierte Erscheinungen mit Hochleistungsausgabe optimiert. Es ist technologisch nachrüstbar und kann individuellen Kundenanforderungen und Applikationen angepasst werden. Es verwendet einen 1064-nm-Laser, der durch die Rückseite des Siliziums „electron-holes“ erzeugt, sowie einen 1340-nm-Laser, der als hochauflösende thermische Probe lokale Aufheizungen detektiert. Der Laser-Multiplexer bietet eine nahtlose Selektion und Anpassung beider Laser. Als Ergänzung zu der langsameren Scan-Geschwindigkeit des Laser-Scan-Moduls verfügt das System über eine Navigationskamera für Echtzeit-Imaging. Das Mikroskopmodul wurde kundenspezifisch entwickelt, um eine maximale Flexibilität für die optischen Komponenten zu gewährleisten, welche für die verschiedene Techniken benötigt werden.
EPP 452
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