Innenkühlung für Sub-Mikrofokus-Röntgenröhre reduziert Brennfleckwanderung

Mikrofokus-Transmissionsröhren der neuen Produktlinie TCNF werden vor allem für die höchstauflösende Computertomographie (CT) mit Auflösungen kleiner als einem Mikrometer (µm) eingesetzt. Typische Anwendungsfelder sind z. B. die Forschung- und Entwicklung sowie die Halbleiterindustrie. Um detailreiche und scharfe hochauflösende Schnittbilder zu erhalten, ist es extrem wichtig, dass die Brennfleckposition während der Aufnahme stabil bleibt. Im Vergleich zu Röntgenröhren ohne Kühlung konnte X-Ray WorX bereits mit der zuvor entwickelten Außenkühlung deutlich verbesserte Ergebnisse liefern. Die neue Innenkühlung reduziert die thermisch bedingte Brennfleckwanderung nun um weitere 90%.

Technisch ist die Innenkühlung durch Kühlkanäle in den Spulen der Elektronenoptik gelöst. Ein aktiver Kühler hält das Kühlmedium auf einer konstanten Temperatur. Bei Auflösungen von weniger als 1µm ist die Brennfleckwanderung damit so gut wie nicht mehr messbar. Tests unter Laborbedingungen zeigen eine Brennfleckwanderung von weniger als einem Mikrometer über eine Zeit von vier Stunden. Der Aufbau wurde für einen vibrationsfreien Test optimiert. Die Röntgenröhre wurde bei 100kV, 2,6 Watt Targetleistung und ca. 0,8µm Auflösung betrieben. Darüber hinaus werden die Röntgenröhren mit dem neuen High Resolution Diamond Target ausgestattet, welches eine kontinuierliche Stabilität der Targetoberfläche bei Langzeit-CT-Aufnahmen sicherstellt.

Mit der Innenkühlung und dem High Resolution Diamond Target ist die Produktlinie TCNF die perfekte Lösung für die höchstauflösende Computertomographie, wenn eine hochstabile Brennfleckposition und Langzeitstabilität während der Aufnahme gefordert sind. Die Röntgenröhren werden mit Beschleunigungsspannung von 100kV bzw. 160kV angeboten.