Die Entwicklung und Fertigung von Mikrosystemen stellt hohe Anforderungen. Künftig läßt sich dies erheblich vereinfachen und beschleunigen, denn Unternehmen und Forschungseinrichtungen haben gemeinsam ein 3D-Inspektionssystem entwickelt, mit dem Mikrokomponenten bereits in frühen Design-Phasen auf Qualität und Zuverlässigkeit prüfbar sind. Da die Ergebnisse direkt in den Entwicklungsprozess einfließen, wird teures und zeitraubendes Redesign vermieden und kürzere Time-to-Market erreicht. Im Vergleich zum konventionellen Systementwurf müssen bei Mikrosystemen wesentlich mehr technisch-physikalische Prinzipien, Wirkungsmechanismen und Abhängigkeiten berücksichtigt werden. Bisher war eine systematische Qualitätskontrolle erst im Systemtest zu Beginn der Fertigung möglich. Mit dem Inspektionssystem läßt sich die Prozedur deutlich abkürzen. Bereits während der Entwicklung kann man Zuverlässigkeit und Zusammenwirken der Komponenten sowie die Belastbarkeit der Materialien und Konstruktionen verifizieren.
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