Mit dem ACS (Automated Characterization Suite) stellt Keithley Instruments integrierte Testsysteme für die Charakterisierung von Halbleitern auf Bauteil-, Wafer- und Kassetten-Ebene vor. In Kombination mit der automatisierungs-orientierten Software können viele Messmöglichkeiten angeboten werden. Die ACS-Testsysteme ermöglichen schnellere Messungen und bieten größere Systemflexibilität unter einer einheitlichen Software-Suite für alle Testanforderungen. Sie sind für die parametrische Charakterisierung von Halbleitern in der Forschung und Entwicklung, der Technologieentwicklung, der Qualitätssicherung/Zuverlässigkeitsprüfung und für den Produktionstest von Kleinserien. Die Automatisierung auf Wafer- und Kassettenebenen ermöglicht einen selbständigen Test und die Erfassung von großen statistischen Datenmengen für die Modellierung und Prozessqualifikation sowie für eine Maximierung der Tool-Auslastung. Auf Wafer-Ebene beinhalten die integrierten ACS-Testsysteme eine Wafer Description Utility und eine Wafer Map. Der Anwender kann dadurch einfach Wafer-Beschreibungsdaten mit integrierten Testplänen erstellen. Farbcodierte Wafer Maps werden in Echtzeit während der Testausführung aktualisiert und zeigen die Pass/Fail-Metrik. Der Prober-Controller erlaubt eine Steuerung der Wafer-Bewegungen mittels ACS-Software während der Testentwicklung, um den Test-Setup anhand der konkreten Strukturen zu validieren, und während der Los-Disposition zu einem Problembereich des Wafers zu navigieren und manuell bestimmte Tests auszuführen. Verschiedene Treiber integrieren unterschiedlichste halb- und vollautomatische Prober nahtlos.
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