Das Kyropump-System Coolvac 1500 von Leybold eignet sich für Anwendungen im Bereich PVD (Sputtering), Beschichtung, Ionenimplantationen sowie Load-Lock und besteht aus Kyropumpe, Kompressor- und Elektronikeinheit. Laut Hersteller erlaubt das Sys-tem eine sichere und saubere Regeneration von Prozessgasen innerhalb weniger als einer Stunde von kalt zu kalt. Die Elektronik kann bis zu 30 Pumpen steuern und überwachen und ermöglicht zudem die Kommunikation mit dem Anlagenrechner.
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