Dem Problem der immer enger werdenden Toleranzen in der Serienproduktion von Mikro-High-Tech-Komponenten und -Baugruppen nimmt sich Lot-Oriel mit dem Weißlicht-Interferrometer NV5000 an, das diese Teile wegen ihrer Kompaktheit im Ganzen vermessen kann. Dabei entsteht nicht nur ein Bild der Oberfläche, sondern auch Werte zur Quantifizierung und Gut-/Schlecht-Auswertung. Eine Anwendung ist beispielsweise das Messen der Ebenheit von präzisen Stanz- oder Schnittteilen wie etwa Gehäusedeckel von integrierten Schaltungen. So wird bei einer Deckelhöhe von 10 em und einem Deckel-Durchmesser von 12 mm vom Hersteller das Ermitteln von 300000 Datenpunkten in 90 s angegeben. Eine dreidimensionale Grafik gibt dabei Aufschluss über die Form des untersuchten Teils, parallel dazu wird auch die Rauheit der Oberfläche ermittelt. Somit ist das Gerät besonders in der Entwicklungsphase durch das dreidimensionale Messen in der Lage, Fertigungsprozesse zu optimieren und zu kontrollieren.
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