Mikro-Positioniersystem mit sechs Achsen

Physik-Instrumente hat das sechsachsige Mikropositionier-Sys-tem F-206 unter anderem für Präzisions-Handlingsysteme und die Halbleiterfertigung vorgestellt. Durch die Parallel-Kinematik nach dem Hexapod-Prinzip und die dazugehörende Steuerung werden Achs-Übersprechfehler eliminiert. Da die bewegte Masse nur aus einer leichten Deckplattform besteht, arbeiten alle Achsen gegen das gleiche Trägheitsmoment. Damit verhalten sie sich hinsichtlich ihrer Einschwingzeit identisch und ermöglichen nach Herstellerangaben somit eine höhere Dynamik. Das Gerät wird über einen Hexapod-Controller gesteuert, der über integrierte Scan- und Alignment-Routinen verfügt. Zusätzlich ist ein Photometer integriert, über das sich die Koppel-Effektivität regeln lässt. Der Stellweg des Sys-tems beträgt in der X-, Y- und Z-Achse w6 mm mit einer Auflösung von 0,1 em und in der @X-,@Y- und @Z-Achse w 5°.

EPP 199