Mikrohärtebestimmung von Schichten im Nanometerbereich

Mit dem Picodentor HM500 hat die Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik ein leistungsstarkes Messsystem für die Mikrohärtemessung nach DIN EN ISO 14577 auf den Markt gebracht. Dieses Gerät ist bestens geeignet für die Bestimmung der Martenshärte HM, elastischer Kenngrößen und anderer Werkstoffparameter von Hartstoffschichten, dünnen DLC-Schichten, Beschichtungen auf Gläsern, CDs, Festplatten und Sensoren sowie dünner Lackschichten und ionenimplantierter Oberflächen. Messobjekte können in der Regel ohne aufwendige Probenvorbereitung gemessen werden. Damit ist das System nur im Labor, sondern auch für schnelle Produktionskontrollen einsetzbar. Durch eine hochpräzise Wegmessung im Picometerbereich und eine Krafterzeugung bis hinunter auf wenige Mikronewton sind Härtemessungen selbst bei ultradünnen Schichten möglich. Mit dem hochpräzisen, programmierbaren XY-Tisch und einer Wiederholgenauigkeit von ±0,5 µm kann auch auf kleinsten Strukturen gemessen werden. Das Messsystem hat ein kompaktes Design und ist durch seinen Granitaufbau extrem formstabil und hervorragend gegen Schwingungen isoliert. Um Umgebungseinflüsse zusätzlich zu minimieren, wird es in einer geschlossenen Messkammer und mit aktivem Schwingungsdämpfungstisch betrieben. Es verfügt über eine verbesserte Optik für höhere Auflösung kleinster Strukturen und eine motorisierte Z-Achse mit Autofokusfunktion. Die Bedienung ist einfach und intuitiv, auch dank der individuell konfigurierbaren, mehrsprachigen Software WIN-HCU. Mit verschiedenen Referenzproben, einem integrierten Rasterkraftmikroskop und diversen Probenaufnahmen steht ein umfangreiches Zubehör zur Verfügung.