Mikrosystem- technik zum Thema

Vom 5. bis 6. Oktober 2005 findet im Holiday Inn in München die Micro System Technologies 2005 statt, eine Mischung aus fertigungstechnischer Praxis und visionären Konzepten, die für Industrie und Forschung Anhaltspunkte zur Lösung aktueller Fragestellungen sowie strategischer Ausrichtungen bietet. Der alle zwei Jahre stattfindende internationale Kongress deckt thematisch die Bereiche Micro-, Electro-Mechanical, Opto & Nano Systems ab. Ein herausgehobenes Thema in diesem Jahr wird die Integration von Frontend- und Backend-Fertigungstechnologien für Mikrokomponenten und Mikrosysteme, auch im Bereich der nicht-siliziumbasierten Systeme, sein, da sich die Trennung dieser Bereiche während der Produktentwicklung zunehmend als eines der größten Hindernisse auf dem Weg zu einer breiten kommerziellen Nutzung von Mikrosystemen erweisen. Die Mikrosystemtechnik hat sich im letzten Jahrzehnt von einem technologiegetriebenen Umfeld immer stärker auf eine produktorientierte und daher auch kostengetriebene Umgebung hinentwickelt. Die Fokussierung von Sensor- und Aktuatortechnologien auf Verfahren, die in Massenfertigung kostengünstige Produkte erlauben, wird in den letzten Jahren durch den Trend unterstützt, verstärkt Systeme zu realisieren, die durch monolithische oder hybride Aufbauten eine erhöhte Funktionalität bei gleichem Miniaturisierungsgrad dem Kunden zur Verfügung stellt. Hier wird diesem Trend Rechnung getragen und der Blick nach vorne geöffnet, wie Systeme zukünftig durch Komponenten, Fertigungstechnik, Materialien und nicht zuletzt Design günstiger, funktionaler und noch kleiner realisiert werden. Die Keynote Redner untersetzen dies durch die Schwerpunkte der Fortschreibung der Halbleiter- und Sensor-Roadmaps und deren Anbindung an die Außenwelt sowie durch den Einfluss der Mikrotechnologie. Die fachliche Leitung liegt bei Prof. Dr. Herbert Reichl, als Programmvorsitzender fungiert Erik Jung, beide vom Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration in Berlin.

EPP 413