Camtek, im Vertrieb von Quasys, bringt mit der Falcon-Serie ein leistungsfähiges Waferinspektionssystem auf den Markt. Mit neuen Ideen zu Inspektionsalgorithmen, Beleuchtung, Beleuchtungsanordnung und Flexibilität der Software werden Maßstäbe bei der Makro-Inspektion von Wafern gesetzt. Die zwei bekanntesten Methoden für die 3D-Inspektion werden kombiniert, damit auch schwierige Bump-Inspektionen leicht und schnell durchgeführt werden können. Linienbreiten und Strukturen werden in ausgewählten Fenstern dimensionell im µ-Bereich gemessen. Es gibt ein Standardsystem für 2D/3D-Inspektion an ganzen Wafern, wie auch das Modell PD für die Inspektion gesägter Wafer.
EPP 483
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