Mit dem konfokalen Oberflächenmeßsystem µSurf von Nano Focus lassen sich dreidimensionale Strukturen mit hoher Genauigkeit erfassen. Das Gerät ist in der Lage, eine Fläche von 1,6 x 1,6 mm in weniger als einer Minute mit einer maximalen Höhenauflösung von 25 nm zu vermessen. Der Meßbereich kann einige Millimeter betragen und wird nur durch den minimalen Abstand der verwendeten Mikroskopobjektive begrenzt. Anwendungsgebiet ist u.a. die Vermessung von feinen LIGA- und Siliziumstrukturen in der Mikrosystemtechnik, für die Aspektverhältnisse von 1:20 und Rauheitsmessungen an sehr kleinen Kanälen kennzeichnend sind.
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