Die WaferMax-Positioniertischreihe mit Direktantrieb von Aerotech ist in vertikaler (Z) und rotierender (Theta) Ausführung erhältlich. Der motorisierte vertikale Hubtisch WaferMax-Z hat einen Verfahrweg von 5 mm mit einer zertifizierten Genauigkeit für Geradheit/Ebenheit von ± 2 µm. Er ist mit einem niedrigen Sockel ausgestattet und in einem vorgespannten Kreuzrollenlager mit einer Komponente für die Quersteifigkeit befestigt, was Winkelabweichung minimiert. Drehtisch WaferMax-T ist um 360 Grad drehbar mit einer Genauigkeit von ± 5 Winkelsekunden. Er bietet guten Planlauf und Momentsteifigkeit bei reduzierter Reibung, und ist mit einer dickwandigen, präzisionsgeschliffenen Welle und Schräglagern mit extremer Steifigkeit ausgerüstet. In Kombination ergeben beide Tische für Rotationsausrichtungen und vertikale Fokusanwendungen eine Größe von weniger als 210 mm x 250 mm, bei einer maximalen Höhe von knapp 105 mm. Für Anwendungen, die möglichst geringe Gesamttischhöhe der Positioniersysteme erfordern, um Fehler durch zusammengesetzte momentbezogene und Positionsinformationen zu reduzieren. Beide Tische verwenden bürsten- und nutenlosen Direktantriebsservomotoren zur genauen Positionierung. Die Tische eignen sich für Anwendungen mit exakt synchronisierter Achse-zu-Achse- und Achse-zu-Sensor-Bewegung oder wenn präzise Schrittbewegungen mit genauer Geschwindigkeit kombiniert werden müssen.
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