Probestation für Strukturen von 100 nm und kleiner

Micromanipulator, Nevada (USA), stellt zusammen mit ihrem Vertriebspartner Electronic Production Partners die Probestation Nano-100 vor, die es ermöglicht, Strukturen von 100 nm und auch kleiner zu kontaktieren. Anwendung findet die Station u. a. in den Bereichen Device Characterization, Failure Analysis und Wafer-Level-Reliability. Das Gerät wird mit einem Scanning Electrone Microscope (SEM) und einem optischen 40fach A-Zoom- Mikroskop ausgestattet, das schon für den Einsatz des Lasercutters vorbereitet ist. Mit dem Lichtmikroskop können in Verbindung mit einem optionalen Lasercutter Passivierungen entfernt, und Leiterbahnen durchtrennt werden. Für die kleinen 100 nm-Strukturen, die mit sichtbarem Licht nicht aufgelöst werden können, wird das SEM verwendet, das elektronische Auge der Station. Besonderes Augenmerk wurde auf den regelbaren niedrigen Energieausstoß von 1,5 kV bis 20 kV gelegt, damit bei längeren Messungen keine negative Beeinflussung des Prüflings besteht Im Echtzeitmodus via Monitor ist ersichtlich, was und wo gerade kontaktiert wird. Die Navigation der standardmäßigen vier Manipulatoren, optional können sechs angesteuert werden, findet durch die Software mit Clip-and-drop-Funktion statt. Sämtliche andere Module wie SEM und optionalen Lasercutter können über die mitgelieferte Software angesteuert werden. Das Wechseln der Probes ist sehr einfach und in wenigen Minuten realisierbar. Mit dieser High-end-Station ist die Bedarfspalette vom analytischen Proben abgedeckt.

EPP 410