Hirata Robotics hat eine Reinraumroboter-Serie entwickelt, die auch in CE-Ausführungerhältlich ist. Das Modell AR-K200 ist für die Handhabung von 6 bis 12 Zoll großen Waferscheiben konzipiert. Mit der Reinraumklasse 1 erfüllt die Serie hohe Anforderungen. Durch kleine Standflächen werden die im Reinraumnotwendigen Luftströmungen nicht behindert. Bei einem Arbeitsbereich von 600 mm und einem Gesamtgewicht von35 kg liegt die Nutzlast bei500 g. Auf Wunsch können die Roboter die AR-K-Serie auch mit einer Positionier-, Ablauf- oder Zellensteuerung ausgerüstet werden.
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