Software-Option für parallele Tests

Keithley hat das Parameter-Testsystem S680DC/RF vorgestellt, das mittels SimulTestT, einer Software-Option für parallele Tests, die Überwachung von 300 mm Waferprozessen genauso schnell wie für 200 mm Wafer erlaubt. Mit einer Annäherung der Probe werden bis zu 9 Bauteile gleichzeitig gemessen. Der Durchsatz konnte durch die verbesserten Source-Measure-Units (SMUs) erhöht werden, die eine schnellere und flexiblere digitale Kommunikation, und somit einfachere Programmierung paralleler Tests ermöglichen. Die SMUs können ultraniedrige Ströme messen und verfügen über eine hohe Leistung. Die Softwareoption AdapTest macht den Wafer-Testprozess intelligenter, da das Testsystem den Testplan auf der Basis der auf Die-Ebene erhaltenen Ergebnisse automatisch in Echtzeit ändern kann. In Verbindung mit geeigneten Teststrukturen ermöglichen die HF-Testfunktionen eine simultane und unabhängige Ausführung von DC- und HF-Tests bis 40 GHz auf separaten Probes. Die flexible Architektur erlaubt eine Integration der Automatisierungsmöglichkeiten in den Fertigungsbetrieb der jeweiligen Fab. Systemsoftware und Hardwareerweiterungen sind auch als Upgrades für bestehende Systeme der Serie verfügbar.

EPP 478