Spezialglas-Wafer für die Mikrosystemtechnik

MEMS, die in Mikrooptiken oder Biochips, in Druckköpfen oder als Beschleunigungssensoren zur Zündung von Airbags zum Einsatz kommen, benötigen extrem genaue Trägermaterialien aus Glas. Schott bietet Glaswafer, die ganz nach Kundenwunsch hergestellt werden und entweder als Trägermaterial dienen sowie zur Stabilisierung. Sie sind häufig in Verbindung mit Siliziumkomponenten zu finden oder übernehmen selbst eine aktive Rolle, etwa als Kanäle zur Mischung von Chemikalien in Mikroreaktoren oder als Substrat für Laser-Linsen. Die Wafer des Technologiekonzerns sind durch hochgenaue Oberflächenbearbeitung eben und weichen maximal fünf Mikrometer in der Dicke ab. Auf Wunsch werden sie in Reinraumqualität geliefert. So ist sich Anett Leibiger, Product Manager bei Schott Lithotec in Jena sicher: „Kein Wettbewerber kommt an diese Qualität ran.“ Die meisten Glaswafer für MEMS-Anwendungen, aber auch für Applikationen im Bereich der Biotechnologie oder des Wafer Level Packaging werden speziell auf die Bedürfnisse des Kunden zugeschnitten. So wird eine große Auswahl an Glassorten wie AF 45 (alkalifreies Glas), D 263 T (alkaliarmes Glas), Borofloat 33, B 270 Superwite (hochtransparentes Spezialglas) oder hochreines synthetisches Quarzglas Lithosil angeboten. Die runden Wafer stehen nicht nur in typischen Größen sondern auch in Sonderformaten zur Verfügung. Die Dicken können zwischen 0,05 und 2 mm variieren, ebenso sind nahezu beliebige Strukturierungen und Bohrungen möglich.

EPP 454