Das System microPulse, in Kooperation mit der 3D-Micromac von Laser 2000 entwickelt, ist für unterschiedlichste Mikro-Bearbeitungsaufgaben wie dem Erzeugen von Mikrobohrungen, Mikrostrukturen und Mikroschnitten geeignet. Je nach gewähltem Lasertyp können Materialien mit hohen Wärmeleitfähigkeiten und geringen Schmelztemperaturen ebenso bearbeitet werden, wie transparente, halbleitende, supraleitende oder organische Materialien. Die Positionierung der Substrate erfolgt hierbei mit einem 5-Achs-Positioniersystem, das sich aus drei Linearachsen sowie zwei Goniometern zusammensetzt. Für die X/Y-Positionierung werden hierbei direkt angetriebene Linearachsen verwendet, für die Z-Achse eine gebremste Spindelachse. Die Goniometer ermöglichen darüber hinaus eine Winkelpositionierung der Substrate bezüglich der X- und Y-Richtung. Eine Erweiterung durch zusätzliche Positioniersysteme wie beispielsweise Rotationsachsen ist gegeben.
EPP 498
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