Die Waver-Trennsysteme der Serie 7100 von Kulicke & Soffa sind mit einer Prozeßüberwachung und Tools zur Prozeßsteuerung ausgestattet. Dazu gehören eine Schneiden-Last-überwachung und eine Kühlmittelregelung für gesteigerte Ausbeute. Die Kühlmittelregelung sorgt dafür, daß aus jeder Düse ein kontinuierlichen Fluß an Schneidenkühlflüssigkeit austritt. Die auf der Einspindel-Präzisionstrenntechnik basierenden Geräte haben einen erweiterten Arbeitsbereich und lassen sich an alle Trennaufgaben anpassen. Mit der Autoladeroption kann das Material direkt aus Kassetten verarbeitet werden. Die Baureihe umfaßt das Modell 7100hm für die Trennung von hartem und dickem Material mit 4- bis 5-Zoll-Schneiden sowie den Typ 7100ic, um IC-Wafer und dünne Substrate mit einer Schneide von 2 bis 3 Zoll zu trennen.
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