Um Qualität zu gewährleisten, müssen Wafer eingehend auf Ebenheit, Verunreinigungen und andere Prozessfehler untersucht werden. Diese Ergebnisse werden meist über Wafermaps grafisch veranschaulicht. Version 7.1 der grafischen und statistischen Analysesoftware Statistica von StatSoft bietet jetzt auch Wafermaps als eine von vielen grafischen Analyseoptionen an. Es gibt sie in Form von Flächendarstellungen, die die ermittelten Strukturen auf eine Ebene produzieren. Aber auch eine rotierbare 3D-Darstellung in Form eines „Gebirges“ ist möglich. Im Falle von mehreren Messwerten für einen Punkt wird gemittelt, die Einzelwerte sind zusätzlich darstellbar. Das Spektrum aller grafischen Editieroptionen der Grafiken wie die Beschriftung einzelner Punkte oder die Veränderung von Skalierungen steht auch für die Wafermaps zur Verfügung. Diese können aktualisiert werden, wenn sich die zugrunde liegenden Daten verändern. Die Datenübergabe an die Software aus externen Datentabellen oder Datenbanken kann über verschiedene Importoptionen einfach realisiert werden. Dank der Automatisierungsmöglichkeiten lässt sich eine Verbindung zu einer externen Datenquelle als Knopfdrucklösung einrichten. Auch sind häufig verwendete Grafiken und Streuungen von Prozessmerkmalen für verschiedene Lose oder Lebensdauerkurven zur Analyse von Ausfallraten genauso implementiert wie statistische Berechnungsverfahren zur Ermittlung von Einflussfaktoren, die den Yield verbessern können.
EPP 495
Unsere Webinar-Empfehlung
SAKI is a Japanese supplier of SPI, AOI, AXI, THD and coating inspection solutions as an all-in-one hardware and software platform.
Teilen:
