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Messung von Strukturdetails im Nanometerbereich

Messung von Strukturdetails im Nanometerbereich
Weißlichtinterferometer von Polytec mit hoher lateraler Auflösung

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Die Miniaturisierung steigert die Nachfrage nach Messungen von Strukturdetails. Polytec hat deshalb das Angebot an Weißlichtinterferometern um zwei mikroskopbasierte Ausführungen erweitert, die das vorhandene Mikroskopsystem TopMap µ.Lab ablösen. Sie bieten eine deutlich höhere Anzahl an Messpunkten in x- und y-Richtung und das dank spezieller Scanning-Technologie (Continous Scanning Technology) über den gesamten vertikalen Messbereich von 100 mm, statt nur über 250 µm.

So sind nun noch detailliertere Messungen möglich, z. B. um Mikro-Strukturen auf Waferoberflächen und bei Druckverfahren zu detektieren oder um Oberflächenrauheiten optischer Komponenten zu bestimmen. Die zusätzlich zur Höhenmessung gelieferte Farbinformation (RGB) über das Messobjekt vereinfacht dabei die Fehlerzuordnung und Dokumentation. In rauer Fertigungsumgebung kompensiert die optionale EC-Technologie (Environmental Compensation Technologie) Umwelteinflüsse automatisch.

Zwei Varianten, viele Möglichkeiten

Die beiden Mikroskopsysteme decken die in der Praxis oft breit gefächerten Anwenderwünsche ab: Die Standardversion TopMap Micro.View ist als Einstiegsmodell konzipiert, das sich als Stand-alone-Lösung schnell und unkompliziert überall einsetzen lässt, z. B. in kleineren Prüflabors oder Forschungsinstituten. Bei der Advanced-Version TopMap Micro.View+ mit motorisierten x-, y- und z-Achsen und 200 x 200 x 100 mm³ Verfahrbereich sowie einen ebenfalls motorisierten Objektiv-Revolver können Prüfabläufe automatisiert nach bestimmtem “Rezepten“ ablaufen, die Probenhöhe kann bis auf 370 mm gemessen werden und der Messkopf ist auch separat direkt in der Fertigungslinie integrierbar. Dank Autofokus-Funktion und automatischem Fokus-Tracker hat das Messsystem Objekt oder Probe immer im Blick.

Die 3D-Messdaten der Weißlichtinterferometer können mit jeder geeigneten Auswertesoftware bearbeitet werden. Besonders einfach und praxisgerecht wird der Umgang mit der speziell für diese Polytec-Topografie-Messsysteme entwickelten Software TMS, die zahlreichen Möglichkeiten bietet, um die Messergebnisse zügig und ISO-konform auszuwerten. Das spart besonders im Produktionsumfeld Zeit, vermeidet Bedienfehler und auch Nicht-Fachleute können mit den Messsystemen arbeiten.


Über Polytec

Als Lasertechnologie-Pionier bietet Polytec bereits seit 1967 optische Messtechnik-Lösungen für Forschung und Industrie. Nach den Anfangsjahren als Distributor machte sich das Hochtechnologie-Unternehmen mit Sitz in Waldbronn bei Karlsruhe schon in den
70er Jahren einen Namen als Entwickler eigener laserbasierter Messgeräte – und ist heute Weltmarktführer im Bereich der berührungslosen Schwingungsmesstechnik mit Laservibrometern. Systeme für die Längen- und Geschwindigkeitsmessung, Oberflächencharakterisierung, Analytik sowie die Prozessautomation gehören ebenfalls zur breiten Palette an Eigenentwicklungen. Eine weitere Kernkompetenz ist die Distribution von Bildverarbeitungskomponenten und optischen Systemen.

www.polytec.com/microview


kurz & bündig

Die Miniaturisierung bringt immer mehr Leistung auf kleinerem Raum. Dadurch steigen die Anforderungen in der Produktion, denn stetig kleinere Strukturen müssen präzise vermessen werden, wozu sich ein Weißlicht-Interferometer mit höherer Auflösung bestens eignet.



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