Cascade Microtech, Hersteller von Waferprobern, bietet mit der von Synatron vertriebenen Software Wincal 3.0 die Möglichkeit, Vector-Network-Analyzer (VNA) automatisch zu kalibrieren. Dabei soll die dafür benötigte Zeit gesenkt und die Genauigkeit der Kalibrierfaktoren erhöht werden. Nach Herstellerangaben liegen beispielsweise für eine SOLT-Kalibrierung (Short, Open, Load, Through) bei 40 GHz über das Frontpaneel des VNA die stärksten Schwankungen bei etwa 18%. Wird hingegen die Software eingesetzt und eine automatische Kalibrierung ausgeführt, soll die Abweichung nur maximal 3% betragen. Der Zeitaufwand für eine von Hand durchgeführte Kalibrierung wird mit etwa 5 min angegeben, unter zu Hilfenahme des Programms dagegen nur mit 45 s. Darüber hinaus fügt Wincal das Test-Setup, bestehend aus Probe-Kopf, Kabeln und VNA, zu einem geschlossenen Messsystem zusammen. Die Software ermittelt die notwendigen Messwerte, berechnet die Fehlerkoeffizienten und überprüft deren Plausibilität. Die gewonnenen Daten werden als Smith- oder Polar-Charts angezeigt und können ausgedruckt werden. Die ermittelten Korrekturwerte der S-Parameter werden im VNA gespeichert. Außerdem lassen sich parasitäre Komponenten der Bondpads ermitteln, um bei weiteren Messungen die Messwerte automatisch zu korrigieren.
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