Eine genaue Charakterisierung von ultradünnen Gate-Dieelektrikas in modernen Halbleiterbauteilen ist nun durch den Parameter-Tester S630DC/RF mit HF-Möglichkeiten bis 40 GHz von Keithley Instruments möglich. Beim Test der Bauteile können Ungenauigkeiten aufgrund des hohen Verlustleistungsfaktors und des Phasenfehlers auftreten, besonders bei der Messung der dritten harmonischen Frequenz mit mehr als 20 GHz, was nun durch das Hochfrequenz-Messverfahren vermieden wird. Erreicht wird das durch zuverlässige HF-Verbindungen im Testkopf und den Einsatz einer Per-Pin-Elektronik, die Präzision und Reproduzierbarkeit sicherstellen. Außerdem enthält das System einen führenden Vektornetzwerkanalysator (VNA) und DC/HF-Probe-Card-Technologie. In Verbindung mit geeigneten Teststrukturen kann das Testsystem unabhängig und parallel DC- und HF-Tests mit getrennten Testsonden ausführen, wodurch sich die Testkosten reduzieren lassen. Das System unterstützt auch die 300 mm Automatisierungsstandards und ist sowohl zu den 200 mm, als auch den 300 mm Probern kompatibel. Die Testsysteme werden mit der standardmässigen, voll unterstützten Tetumgebung Test Environment (KTE) ausgeliefert.
Productronica, Stand A1.155
EPP 470
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